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蝶阀 价格:

专为压力控制系统设计,可应用于涉及需要精准控制气体流动的半导体设备,如外延设备、退火设备、沉积设备、刻蚀设备以及长晶设备,通过腔室下游压力控制技术在泵体中进行工作

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优势:

1. 性价比高:抗污染、耐腐蚀,体积小、重量轻,节约安装空间,操作简单,维护方便

2. 易于集成:紧凑型压力控制器自带算法,无需额外电缆和机架空间

3. 算法先进:采用自动校正控制算法,最大限度地缩短了设定点时间,确保可重复的工艺配方无需操作员参与

4. 控制范围广:双通道传感器输入,可实现大、小量程传感器自动切换

5. 位置精度高:搭载高精度光电编码器实现精准定位

6. 控压快且稳:采用PID控制器控压,开关时间小于1s

技术指标:

1. 连接方式:采用快卸法兰ISO-KF40连接尺寸

2. 漏率:外漏<1×10E-9mbar·l/s

3. 压力范围:0-1.3bar

4. 压力控制精度:满量程0.1%

5. 传感器输入信号:0-10VDC

6. 材质:铝6061、316不锈钢、氟橡胶

7. 通信接口:RS232、EtherCAT

8. 供电接口:24VDC,最大不超过100W

9. 传感器接口:可连接一个或两个传感器

10. 运行环境温度:≤50℃

11. 安装位置:水平、垂直安装

 


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