精密密封解决方案 | 专为半导体设备定制
核心业务
提供全系列半导体设备专用密封圈，涵盖外延、刻蚀、沉积、光刻、清洗等关键制程设备，确保高洁净、高真空与耐腐蚀性能。
产品优势
材质精选：采用全氟醚橡胶（FFKM）、氟橡胶（FKM）、高纯硅胶等材料，耐受等离子体、强化学试剂及极端温度。
工艺认证：产品通过标准认证，无尘室包装，保障洁净度与可靠性。
兼容广泛：适用于AMAT、LAM、TEL、ASM、LPE、Aixtron等主流设备型号，支持原厂规格替换与定制设计。
蝶阀
门阀
带式漏液检测器
漏液检测带
点式漏液检测器
高压温控器
低压温控器
远程IO模块-ECTOX2XS
首页
电话
留言
回到顶部