Verus M400 光纤测温仪,为多种工艺和不同衬底提供精密温度的测量。BAOYAO 的Verus M400 多通道光纤测温仪,集当前最先进的测温仪的优点,为众多温度测量应用提供了业界领先的非接触性温度测量。Verus M400 向要求最苛刻的温度测量应用提供多通道功能和高达 2 kHz 的读取速率。 该仪器采用模块化设计,能够快速调整以满足各个工艺应用的独特要求。
每套系统由主机、光学传感器和光纤电缆组成。传感器采集来自目标物(通常为基座)发射的近红外光,随后通过光纤将近红外光从传感器传输至主机,主机将采集的光强信号转换为温度读数。采用光纤传输可使主机远程部署在受控环境中,远离工艺现场。这样的设计既使精密电子设备远离电磁辐射和急剧环境温度变化的影响,又为工艺环境释放了宝贵空间。每台传感器均根据独特应用的功能需求和机械要求进行定制设计,最终实现可靠测量、更高重复性及提升生产良率的效果。
l原位非接触式温度测量
Verus M400 系列可以在不接触目标物体的情况下,进行原位的温度测量,适用于多种需要避免接触测量的应用场景。Verus M400 用于快速热处理 (RTP)、激光退火、高密度电浆化学气相沉积(HDP-CVD)、金属有机化学气相沉积 (MOCVD)、原子层沉积 (ALD)、紫外线硬化、太阳能电池封装和硬盘 (HDD) 处理。
l多波长测量
Verus M400 系列能够在同一台仪器中实现多种波长的测量,覆盖紫外到2300纳米的滤光范围,满足不同材料和工艺对测量波长的特定需求,为复杂的温度测量应用提供了更全面的解决方案。
l 丰富的数据接口和触发同步功能
Verus M400 系列提供了RS-232/422/485、EtherCat以太网以及模拟输出等多种数据接口,并具备外部触发输入、同步输出以及高低报警等功能,方便与各种自动化控制系统进行集成,实现远程监控和自动化控制。
附属产品:
