晶圆装卸机：SMIF维修，SMIF-LPT专为半导体及设备制造商应用而设计，是需要洁净传输晶圆料盒的真空传输工具。
维修内容：
1、 SMIF控制板维修。
2、SMIF其他故障维修：卡死不动等。
蝶阀
门阀
带式漏液检测器
漏液检测带
点式漏液检测器
高压温控器
低压温控器
远程IO模块-ECTOX2XS
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