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真空阀的设计适用于所有真空度,直至高真空、超高真空和极端超高真空条件。

真空阀是在洁净室条件下生产的,并为其各自的应用量身定做。除了高纯度外,真空阀由于其高度精确的功能和耐用性,即使在极端的运行条件下也表现佳。

真空阀门广泛应用到以下设备中:

真空镀膜(Vacuum evaporation)、蚀刻(Etching)、抛光(Ashing)、溅射(Sputtering)、PVD、CVD、外延成膜(Epitaxial film formation)、离子注入(Ion implantaion)、退火(Annealing)、手套箱(Glove box)、封装(Packaging)、真空炉、ALD、Roll to Roll设备(Roll to Roll apparatus)、环模腔(Space chamber)、溶解炉(Melting furnace)、放射设施(Synchrotron radiation facility)、扫描电镜SEM、干洗净(Dry cleaning)等。

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