红外测温仪维修:
维修类型:AMAT红外测温仪系列—— 0010-23716,0010-23715等。
AMAT 0010-23716的主要作用是为半导体制造过程中的高温工艺提供精确的温度测量其用途包括但不限于:
热氧化:监控氧化工艺中的温度变化
扩散:确保扩散工艺的温度控制
沉积:监测沉积工艺中的温度稳定性
维修内容:
AMAT 0010-23716,0010-23715等系列测温仪
1、提供测温仪光管替代品。
2、测温仪电路板维修更换。
3、测温仪标定。
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点式漏液检测器
高压温控器
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