晶圆搬运机械手维修：
机械手特点：
1、可在真空或大气腔输送晶圆；
2、可传送200mm/300mm 的晶圆；
3、符合CE和SEMI S2。
维修内容：
1、 机械手控制板更换。
2、 机械手机械故障维修：卡死不转等。
蝶阀
门阀
带式漏液检测器
漏液检测带
点式漏液检测器
高压温控器
低压温控器
远程IO模块-ECTOX2XS
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